چرا اتلاف نیرو دمای تراشه را افزایش می دهد و چگونه ساخت توسط حرارت کنترل شده پشتیبانی می شود
سه دلیل اصلی اتلاف توان در نیمه هادی ها نشتی از طریق دستگاه های خاموش ناکافی، جریان های مدار کوتاه-در حین انتقال ترانزیستور، و شارژ خازنی در حین سوئیچینگ است. هر یک انرژی اضافه می کند که در نهایت به صورت ارتعاش شبکه ظاهر می شود. چگالی گرمای حاصل با کاهش اندازه ویژگی و افزایش فرکانسهای عملیاتی افزایش مییابد که حداکثر عملکرد را محدود میکند و قابلیت اطمینان بلند مدت را کاهش میدهد.
این مسئله با رویههای ساخت معکوس میشود، که به اعمال گرمای دقیق و عمدی نیاز دارد. انرژی مورد نیاز در داخل ویفر چاک ها، ایستگاه های بازپخت و قالب های قالب گیری توسط یک بخاری کارتریجی تامین می شود. المان محکم پیچیده شده و عایق متراکم آن باعث تغییرات سریع دما و نقطه تنظیم پایدار می شود و شکل استوانه ای آن امکان قرار دادن در حفره های عمیق را فراهم می کند.
در واقع، توان پیک به تنهایی به اندازه همگنی دما در سراسر سطح گرم شده مهم نیست. تغییرات موضعی چند درجه میتواند با تغییر چسبندگی چسب، فعالسازی ناخالصی یا نرخ توسعه فیلم باعث کاهش عملکرد شود. هنگامی که سوراخ نصب تمیز و آماده است، یک بخاری کارتریجی خوب-به طور یکنواخت گرما را در طول فعال خود پخش می کند.
عمر سرویس اغلب با جزئیات نصب عملی تعیین می شود. نقاط داغ یا حملات شیمیایی روی غلاف ناشی از آلاینده های داخل سوراخ است. پایانه ها باید متناسب با محیط الکتریکی و حرارتی باشند و خروجی های سرب باید از دمای بالای محیط محافظت شوند. تجربه نشان داده است که تناسب مکانیکی ضعیف یا چگالی وات بیش از حد، به جای کیفیت ذاتی محصول، اغلب علت خرابی های اولیه است.
رطوبت همچنان یک خطر خاموش است. رطوبت به راحتی توسط عایق اکسید منیزیم جذب می شود. گرمایش بعدی رطوبت را به بخار تبدیل می کند و سیم مقاومت را اکسید می کند و مقاومت عایق را کاهش می دهد. این حالت خرابی با ذخیره سازی مناسب و چرخه خشک{2}} کنترل شده قبل از راه اندازی حذف می شود.
جرم حرارتی، سطح خلاء و محدوده دمایی محفظه های فرآیند، سیستم های آزمایش و پرس های بسته بندی متفاوت است. بخاری کارتریجی که برای یک مجموعه از شرایط طراحی شده است ممکن است در شرایط دیگر ضعیف عمل کند یا خیلی زود از کار بیفتد. کنترل فرآیند سختتر و عمر طولانیتر بخاری ناشی از تطبیق قطر، طول، وات، مواد غلاف و نوع پایان با نیازهای خاص هر دستگاه است.
