هنگامی که عناصر گرمایشی را برای تجهیزات تولید نیمه هادی تامین می کنید، "به اندازه کافی خوب" به سادگی وجود ندارد. این درسی است که ما در اوایل سه سال پیش زمانی که برای اولین بار وارد زنجیره تامین نیمه هادی ژاپن شدیم، آموختیم. و این آخرین سفارش - 3، 200 بخاری کارتریج فوق العاده-برای یک سازنده تجهیزات مبتنی بر اوزاکا-- گواهی بر پیشرفت سیستم های کیفیت ما است.
هر بخاری در این دسته در جمعه گذشته مورد بازرسی نهایی قرار گرفت. اما چیزی که این نقطه عطف را معنی‌دارتر می‌کند این است که مشتری دو نفر از مهندسان با کیفیت خود را از اوزاکا به پرواز درآورد تا ممیزی سایت خود را- انجام دهند. آنها سه روز کامل را در تأسیسات ما گذراندند و سوابق تولید، روش‌های آزمایش و منطقه مونتاژ اتاق تمیز را بررسی کردند. آنها نمونه‌های تصادفی گرفتند، اندازه‌گیری‌های خود را انجام دادند و حتی با برخی از کارکنان تولید ما درباره آموزش و دستورالعمل‌های کاری مصاحبه کردند. در پایان همه، آنها با هیچ یافته مهمی امضا کردند. دستیابی به این هدف با مشتریان نیمه هادی ژاپنی آسان نیست.
این بخاری ها در فرآیند پیوند ویفر استفاده می شوند، جایی که کنترل دقیق دما کاملاً حیاتی است. حتی کوچکترین آلودگی یا انحراف دما می تواند یک دسته کامل از ویفرهای سیلیکونی به ارزش ده ها هزار دلار را خراب کند. بنابراین مشخصات فوق‌العاده محکم هستند: تحمل قطر ± 0.02 میلی‌متر، یکنواختی دمایی 1± درجه در سراسر منطقه گرمایش، و خروج گاز مطلقاً از مواد غلاف در شرایط خلاء.
برای برآورده کردن این الزامات، ما این بخاری‌ها را در یک منطقه مونتاژ اتاق تمیز اختصاصی - کلاس 10000 - تولید می‌کنیم، جایی که هر جزء قبل از مونتاژ تمیز و بازرسی می‌شود. غلاف‌های فولادی ضد زنگ به صورت آینه‌ای با الکترو پولیشی می‌شوند، سپس چندین بار به روش اولتراسونیک تمیز می‌شوند. پودر MgO در دمای بالا پخته می شود تا رطوبت قبل از پر شدن از بین برود. این فرآیند بسیار سخت‌تر-از بخاری‌های کارتریجی استاندارد است، اما نتایج برای خود صحبت می‌کنند.
این سفارش به چهار پیکربندی مختلف تقسیم می شود که طول آنها از 40 میلی متر تا 100 میلی متر متغیر است و همگی با قطر 6 میلی متر هستند. هر پیکربندی دارای شماره قطعه و کد قابلیت ردیابی خاص خود است، بنابراین مشتری می تواند دقیقاً زمان ساخت هر بخاری، دسته مواد خام و افرادی که آن را مونتاژ کرده است، ردیابی کند.
